여기 요점이 있습니다

특허 번호 5897362 "감지 장치 제조 방법"(일본 특허 용도 2012-62597)은 단열 기판에서 가스를 감지하는 금속 산화물의 박막을 형성하고 박막의 크기를 증가시키지 않으면 서 탐지 감도를 증가시킬 수있는 박막 가스 센서를 제공합니다.
하라 카즈 히로 교수는 메이저 토토 사이트의 존재 하에서 금속 산화물로 만든 박막의 전기 저항의 변화를 이용하는 반도체 메이저 토토 사이트 센서를 연구하고있다.
일반적으로 반도체 메이저 토토 사이트 센서에 의해 감지되는 메이저 토토 사이트는 가연성 메이저 토토 사이트에서 독성 메이저 토토 사이트 및 환경 메이저 토토 사이트에 이르기까지 다양하며 매우 민감하고 빠른 응답 속도, 작고 경량 및 저비용이므로 응용 분야가 광범위합니다. 반도체 메이저 토토 사이트 센서에 사용되는 반도체 재료는 종종 공기 중에 고온이 유지되는 상황에서 사용되기 때문에 열적 및 화학적으로 안정적인 금속 산화물이 사용되기 때문입니다. 산화 아연 ZnO, 계층 산화물 SNO2, 2 철 산화물 Fe2O3, 텅스텐 산화물 WO3, 인듐 산화물 IN2O3 등이 연구되고있다. 또한, 센서의 감도와 안정성을 향상시키기 위해 반도체 재료에 다양한 첨가제가 추가된다. 반도체 메이저 토토 사이트 센서 재료는 박막 또는 다공성 몸체의 형태를 취합니다. 반도체 메이저 토토 사이트 센서의 특성은 주요 재료의 유형, 양, 첨가 방법, 제조 방법 및 제조 조건, 첨가제 및 제조 방법의 특성 및 생산 조건에 따라 다릅니다. 따라서 탐지 목표 및 사용 목적에 따라 최적화됩니다.

많은 반도체 메이저 토토 사이트 센서가 메이저 토토 사이트로 인한 전기 저항의 변화를 감지하지만, 커패시턴스의 변화와 접합 가능성의 변화를 포착하는 유형도 있습니다. 그림 1은 상기와 같이 전기 저항의 변화를 감지하는 박막 메이저 토토 사이트 센서의 기본 구조의 예를 보여줍니다. 단열 기판 상에 메이저 토토 사이트 센서 재료가 형성되고, 메이저 토토 사이트 센서 재료의 전기 저항을 측정하기 위해 한 쌍의 전극이 제공된다. 그림 2는 단면도입니다. 반도체 메이저 토토 사이트 센서는 전형적으로 200 ° C와 500 ° C 사이에서 작동하므로 메이저 토토 사이트 센서 재료를 가열하는 히터를 포함합니다. 도 2의 SI 기판은 MEMS 기술을 사용하여 Si 기판을 소형화하고 절연시켜 히터의 전력 소비를 줄이려고 시도되었다. SI 기판 대신 사파이어 기판도 사용됩니다.
특허 번호 5897362는 단열 기판에 두 개의 검출 박막이 사용되는 예와 검출 박막이 다공성 필름으로 만들어지는 예를 소개합니다. 각각의 검출 박막의 두께를 변화시키는 예, 검출 박막 사이의 간격 변화, 감도를 증가시키기 위해 검출 박막의 수를 증가시키는 예가 도입되었다. 이산화 티타늄 TIO2가 텅스텐 산화물 WO3에 첨가되는 예가 도입된다. 이것은 검출 목표 및 사용 목적에 따라 제품이 최적화되는 예입니다. MEMS는 반도체 메이저 토토 사이트 센서 외에 다양한 분석에 사용 된 기술이며, MEMS 구조의 통합은 여러 메이저 토토 사이트를 동시에 감지 할 수있게한다.
최근에, 바다를 가로 질러 도착하는 광화 화학 산화제의 수가 다시 증가하고 있습니다. 목적에 따라 반도체 메이저 토토 사이트 센서를 연, 풍선 및 드론에 다른 용도로 부착하고 실시간으로 다중 메이저 토토 사이트의 농도를 감지하고 IoT를 사용하여 데이터를 수집하고 AI로 지원할 수있는시기에 가깝다고 생각합니다. 실험실간에 정보를 계속 교환하기를 바랍니다.

관련 콘텐츠