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발명 요약

반도체 및 평면 패널 디스플레이의 노출 장치 용 마스크 기판 및 반사기에는 고정밀 평면 표면이 필요하며 성능에 영향을 미치는 중요한 기본 기술입니다. 또한, 실리콘 웨이퍼의 평탄도를 메이저 사이트 순위하는 것과 같은 장치에는 나노 미터 수준에서 불균일을 메이저 사이트 순위하는 장치가 필요합니다. [NANOROMER (NM) : 국제 단위 시스템의 길이, 10-9 미터 (m) = 10 억 미터 또는 백만 분의 1 백만 분의 길이 표면 형태를 메이저 사이트 순위하는이 기술은 현대 산업 기초를 지원하는 기술입니다.
간섭계는 표면 모양을 관찰하는 기술 중 하나입니다.
물체의 위치 및 방향을 메이저 사이트 순위하는 것 외에도, 간섭계는 표면과 평면 모양의 거칠기를 메이저 사이트 순위하고 미생물 관찰에 널리 사용됩니다. 또한, 차동 간섭계를 메이저 사이트 순위하고 관찰 할 때, 광학 시스템은 대물 렌즈의 방사형 방향을 따라 전단되는 것으로 알려져있다.
이전 기술은 수렴 또는 확산의 파면을 나누기 위해 간섭 신호를 생성하고 대물 렌즈의 방사형 방향을 따라 빛을 나누는 차동 간섭계를 달성했습니다.
Fizzo 간섭계와 같은 평면 모양을 측정하는 기술도 있습니다. 그러나이 Fizeau 간섭계는 측정 객체와 별도로 알려진 모양을 갖는 기준 표면을 필요로하며,이 기준 표면의 모양을 알 수없는 경우 측정 객체의 모양을 결정할 수 없습니다. 이 문제를 해결하기 위해 "3- 패턴 방법"이라는 특수 기술이 사용되었습니다.
그러나, 이전 광학 시스템의 경우, 전단량은 대물 렌즈의 반경에 비례하여 변화하므로, 전단량은 위치에 따라 다르기 때문에, 결과적으로, 반경이 증가하면 두 조명이 매우 다른 거리 사이에 다르기 때문에 얻어진 간섭 신호의 거친 밀도를 초래하기가 어렵다.
제안 된 기술은 볼록한 간섭계로 볼록한 간섭계와 볼록한 axicon 렌즈가 지정된 간격으로 배열되어 볼록 부분과 오목 부분이 서로 마주 보게됩니다. [Axicon 렌즈는 회전식 대칭 프리즘이라고도하며 한쪽은 원뿔 모양이며 다른 쪽은 평평합니다. 】
이 간섭계를 사용하면 동일한 밀도에서 메이저 사이트 순위 대상의 모양의 방사형 분화를 직접 관찰 할 수 있습니다.
또한 렌즈 간 간격을 변경하여 메이저 사이트 순위 정확도를 변경할 수 있습니다.
반경에 관계없이 전단량을 일정하게 유지함으로써, 기준 평면의 필요없이 실시간으로 방사형 분화를 관찰 할 수있다.
이러한 방식으로, 제안 된 기술은 간섭 신호의 밀도를 가질뿐만 아니라 메이저 사이트 순위 할 물체 표면의 불균일을 해석하는 데 아무런 문제가없는 차등 간섭계를 제공합니다.

미래 개발

이 발명에서, 전단량은 이전 기술에서와 같이 대물 렌즈의 반경에 따라 변하지 않으며, 간섭 신호의 밀도는 일정하며, 메이저 사이트 순위 할 물체의 표면에서 불균일을 해석하는 데 아무런 문제가 없다. 또한, 이전 예술에서와 같이 기준 표면은 물론 필수가 필요하지 않기 때문에 메이저 사이트 순위 및 관찰은 한 번의 메이저 사이트 순위으로 수행 할 수 있으며 메이저 사이트 순위 시간이 단축되어 쉽고 빠르게 관찰 할 수 있습니다.
제안 된 기술을 육성함으로써 향후 웨이퍼 평면, 렌즈 평면 및 투명한 재료 (유리 등)의 모양을 메이저 사이트 순위하기 위해 미래에 적용 할 수 있습니다. 많은 현대 기술은 이미지 처리에 이미지 처리를 사용하여 AI를 현재 메이저 사이트 순위 방법에 적용하여 정확도를 향상시키는 것을 목표로하지만,이 제안 된 기술은 메이저 사이트 순위 방법을 근본적으로 검토하고 생산성과 비용 절감을 크게 향상시킬 수 있습니다.

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